FSM公司为美国一家专业检测设备公司，设备主要用于硅片表面平整度、翘曲度，薄膜应力等的测量；华林科纳CSE于2010年初与其签订代理协议，负责其产品国内市场，相关更多产品信息，请参考“产品中心”-”代理海外设备”-“检测设备”类目；或者访问其网站：http://www.frontiersemi.com.cn/；

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